ポリプロピレン不織布の5層構造からなるフィルタバッグ。 各層の通気性を変えることにより目詰まりしにくく、45μ以上では95%以上捕集できます。 また5層構造により、全体強度が高く、紙パックのように簡単に破れることはありません。

ポリプロピレン不織布をプリーツ折フィルタに成形しています。 外枠はABS樹脂にて成形しています。捕集効率が高く0.3μを99％以上捕集できます。

1次フィルタで捕集されなかった細かい粒子は、粒状活性炭内を通過時に衝突して捕集されます。 この時臭いも同時に吸着します。

2次フィルタと同じフィルタを使用しており、1次、2次で捕集されなかった粒子を捕集します。さらにファンモータ室で発塵した微粒子も捕集する目的で設置されています。 0.3μを99％以上捕集し、クリーンクラス100，000～10，000に設置できます。

排気側にHEPAフィルタ（捕集効率0.3μを99.97％以上）を装着することによって、クリーンクラス1000に対応可能となります。

独自の巻き上げ機構により、ゼオライトをプリコートします。
捕集効率が0.5μ99.99％以上のフィルタにゼオライトをプリコートすることで、レーザーマーキングで発生したヒュームや微粒子を吸着・捕集します。